硅片超聲波清洗機(jī)的清洗原理主要依賴于超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進(jìn)流作用。具體來說，清洗機(jī)將電能轉(zhuǎn)化為機(jī)械能，使清洗槽中的液體產(chǎn)生高頻振動(dòng)，形成聲波。當(dāng)聲波作用于硅片表面時(shí)，會在其表面形成微小的氣泡并迅速破裂，從而產(chǎn)生強(qiáng)大的沖擊力，將硅片表面的污垢和雜質(zhì)剝離并分散在清洗液中。